开云Kaiyun官方网站半导体尾气处理公司

　　开云Kaiyun官方网站半导体尾气处理公司半导体尾气处理即在半导体制程生产中，一些残存的尾气从无尘室真空管出来，在输送到中央废气处理系统前，需要经过尾气处理设备通过吸附或燃烧等方法先行处理之后，再排入中央废气处理系统。

　　格林斯达环保集团是一家集环保咨询、研发设计、加工制造、设备销售、系统集成、智慧运维于一体的半导体废气处理解决方案提供商。自2009年7月创立之初，即以半导体行业尾气处理服务起家，为中芯国际、华虹半导体、积塔、燕东微电子、有研半导体、中科晶电等等半导体行业客户提供半导体废气治理方案及设备。经过14年的发展，先后在华东、华南成立分公司，一路从北京到天津、上海、无锡、绍兴、深圳等地，服务过近百家半导体废气治理企业，并且与客户建立了长期稳定的合作伙伴关系，在国内半导体高精尖企业圈树立了良好的服务口碑。

　　格林斯达人提倡狼性文化，以言必行，行必果为集团价值观，始终以结果为导向，追求德国工匠精神，敬业环保，终生专注，把细节做到ji致。

　　自格林斯达环保集团成立以来，已经顺利完工且通过验收的废气处理工程案例数量180+，下面为您简单介绍半导体废气处理工程案例：

　　中芯北方集成电路制造（北京）有限公司成立于2013年7约，是中芯国际与北京市政府共同投资设立的12英寸xian进制程集成电路制造厂。格林斯达作为中芯北方的大厂商，长期为客户提供全生命周期工艺排气系统一站式解决方案。提供了中芯北方P2-10K/15K/18K酸碱废气系统Kaiyun官网、事故排风系统、一般排风系统解决方案及项目建设，并参与P2B工艺排气系统项目建设。

　　中芯集成电路制造（绍兴）有限公司（中芯绍兴，SMEC）成立于2018年3月，总部位于浙江绍兴，主要工艺平台是从中芯国际集成电路制造有限公司（SMIC）授权转移而来的MEMS，IGBT和MOSFET。是一家专注在为客户提供特色工艺集成电路芯片及模块封装的代工生产制造服务的供应商。中芯绍兴自成立以来，聚焦在人工智能、移动通信、车载、工控等L域，通过构建持续研发和产业化能力，努力实现在微机电系统和高端功率器件制造工艺方面，达到国际流的水平的目标。

　　格林斯达作为绍兴中芯半导体废气系统解决方案供应商，在2019年Kaiyun官网，完成FAB厂房13k排气系统的建设，包括SEX系统：3套*65000CMH、EPI。SEX系统：2套*12000CMHKaiyun官网、AEX系统：2套*10000CMH、GEX系统：3套*65000CMH、VEX系统：2套*20000CMH，砷排放系统：2套*1000CMH及exhaust系统的自控及上位机系统，保证系统稳定运行。

　　上海积塔半导体有限公司成立于2017年，是华大半导体旗下全资子公司。华大半导体则是中国电子信息产业旗下子公司，为中国10大集成电路设计公司之一。

　　格林斯达作为积塔半导体的废气系统解决方案供应商，在2019年新项目中，为积塔提供工艺排气系统的废气处理解决方案，主要包括SX系统：6套*90000CMH酸性废气处理系统、EPISEX系统：2套*20000CMH酸性废气处理系统、AEX系统：3套*60000CMH碱性废气处理系统、VEX系统：2套*100000CMH有机废气处理系统。